载具清洗机

内容简介

详细说明:

可客制化客户的载具清洗,可去除残留光阻及胶材。全自动化清洗,可选配AOI 进行尺寸、外观检测。
特性:
水雾系统可搭配软性刷头,全程使用DIW。无需药水清洗,无废液产生,不伤害部件本体。

用途:

Foup、Magazine、Boat

规格:

Foup
标配
* 开盖功能
* wafer maping
* 静电风扇
* DIW 清洗/干燥
选配
* E84通讯
* RFID 读取
* Barcode 读取
* 光闸
* DIW 加热系统
* N2 purge 功能
* SECS/GEM
Boat/Jig
标配
* DIW 清洗/干燥
* Pin 间距量测
* 垫圈有无量
* WPG检测
* JIG 拆合盖模块
* JIG 磁力推力检测
选配
* SECS/GEM
* RFID 读取
* Barcode 读取
* 光闸
* DIW 加热系统

产品联络人
郑香郇 Alan

WAFER MATERIAL BUSINESS UNIT

10F, Building 5, No.2388 ChenHang Road, Minhang District, Shanghai, China (Zip: 201114)
TEL:86-21-6422-0458 ext.217
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