详细说明：

可客制化客户的载具清洗，可去除残留光阻及胶材。全自动化清洗，可选配AOI 进行尺寸、外观检测。
特性:
水雾系统可搭配软性刷头，全程使用DIW。无需药水清洗，无废液产生，不伤害部件本体。

用途：

Foup、Magazine、Boat

规格：

Foup
标配
* 开盖功能
* wafer maping
* 静电风扇
* DIW 清洗/干燥
选配
* E84通讯
* RFID 读取
* Barcode 读取
* 光闸
* DIW 加热系统
* N2 purge 功能
* SECS/GEM
Boat/Jig
标配
* DIW 清洗/干燥
* Pin 间距量测
* 垫圈有无量
* WPG检测
* JIG 拆合盖模块
* JIG 磁力推力检测
选配
* SECS/GEM
* RFID 读取
* Barcode 读取
* 光闸
* DIW 加热系统