光罩基板
Category 黃光
内容简介
详细说明:
生产芯片的模具称为光罩。当IC设计公司设计出一款芯片电路图之后,光罩公司制作成光罩,再送至晶圆代工厂进行晶圆代工,封装、测试后,便成为一颗颗的IC芯片。而制作光罩的基础材料,即光罩基板(Mask Blanks)。最主要的产品依基板特性分为Binary及Half-Tone(KrF/ArF)两种,若再依所涂布的光阻分类,可再细分成Optical resist及E-Beam resist等两种。
用途:
功能类似相片之底片,将图形转印至Wafer上。
规格:
- 6025 Binary Blanks
- 6025 Half-Tone Blanks
- EB-Positive CAR
- EB-Negative CAR
产品联络人
李东 Winter
ADVANCED MATERIAL BUSINESS UNIT
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