DUV深紫外线光阻
内容简介
详细说明：
微影制程中的感光物质，主要目的是将光罩上的图像转印至硅芯片中，KrF的光阻呈黄色，性油。对248nm波长的光有很好的吸收与反应力。
用途：
微影（黄光）制程
详细说明：
容量单位：加仑
材质为棕色的玻璃瓶，另有厂商使用NowPac的包装
常温保存
保税商品
产品联络人
李东 Winter
ADVANCED MATERIAL BUSINESS UNIT
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